二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9192386 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II是由AMAT, Inc.設計和建造的蝕刻器/asher。通用設備能夠在許多半導體工藝中蝕刻和/或粉刷各種晶圓和陶瓷材料。AMAT DPS II先進的Multi-Zone TM技術和Fusion™氣體輸送系統允許對產品和應用程序的特定要求進行預調整和過程控制。此功能優化了閘門到閘門水平的蝕刻和灰化的性能和控制。APPLICED MATERIALS DPS II的蝕刻和灰化過程是基於受控的氧氣或氮氣等離子體化學。這些過程可以根據壓力、電流和等離子體量身定制和調整。使用DPS II,可以調整該工藝,使其在蝕刻和灰化的最佳範圍內運行。此外，腔室和電極布置被設計成產生一個極好的流動分布導致均勻蝕刻深度跨越晶圓。AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II的另一個重要特點是其高效氣體輸送裝置。采用新型雙級過濾機設計，保證了高氣體純度。這樣可以在不增加工藝時間的情況下升級任何工藝的清潔質量。它還可以通過降低電極汙垢和改善電隔離來提高工藝溫度。這反過來又使晶片具有更高的均勻性。AMAT DPS II還包括一個自動反應堆TM功能,以減少排便和返工.它通過自動調整到正確的蝕刻參數集來改進工藝的調整，並消除了手動調整腔室條件的需要。此功能能夠快速高效地切換到不同的工藝條件。APPLIED MATERIALS DPS II還包括一個全面的用戶界面工具,允許用戶實時監視、跟蹤和控制蝕刻和/或灰化過程。它還提供了許多自動過程控制功能,以提高準確性和可重復性。總體而言,DPS II是一種蝕刻器/灰化器,旨在提供出色的重復性、精確度和對蝕刻和灰化過程的控制。它包括Multi-Zone TM技術和Fusion™ Gas Delivery Asset,以根據應用程序的特定要求對流程進行預置。它還提供了高效的氣體輸送模型、自動反應堆TM功能和一個全面的用戶界面設備，用於實時的過程監測和控制。