二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9204534 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II Etcher/Asher是一種可靠、高性能的等離子體蝕刻設備,設計用於對厚薄膜材料進行精確蝕刻。它提供高吞吐量,能夠對各種材料進行專用蝕刻和灰化。AMAT DPS II Etcher/Asher具有多室架構，提供快速的循環時間，並能夠在較短的時間內處理多個晶圓。晶圓載波設計用於在不同腔室之間快速切換，從而實現高效的吞吐量。所有獨立的腔室都由獨立的射頻發生器提供動力，允許每個循環的最佳工藝條件。可以對蝕刻工藝進行微調，以提供每個周期的最佳結果和最大產量。該系統提供精確的位置控制，並允許可變壓力控制能力。包括等離子體優化單元，以保持等離子體質量並提供最高蝕刻速率。此外,一整套自動化的過程配方、診斷和過程管理功能使APPLIED MATERIALS DPS II Etcher/Asher易於使用。DPS II Etcher/Asher是一款極其可靠的機器，適用於生產高精度蝕刻和灰化工藝。該工具專為流程可重復性而設計，並配有各種傳感器和診斷工具，以確保每個周期的結果一致。該資產還可以通過可選的重新啟動功能最大程度地減少停機時間。AMAT/APPLICED MATERIALS DPS II Etcher/Asher是為生產過程需要可靠、可重復的蝕刻/灰化模型的用戶提供的完美解決方案。它提供精確的蝕刻結果,並提供最高級別的過程控制和吞吐量。該設備易於使用，為可重復性而設計，並為更高的產量提供了增強的等離子體質量。