二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9253348 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II是一種高級蝕刻器/asher,用於在各種材料表面上創建復雜的圖案和形狀。它是一種化學幹蝕刻工藝，在包括硬質金屬、矽片和薄膜材料在內的各種表面上工作。AMAT DPS II在蝕刻器世界中是獨一無二的，因為它是一種雙光束幹蝕刻器。這意味著它可以同時使用光束和重光束進行蝕刻，與使用單個光束蝕刻器相比，允許更精確的陣列。使用這兩個光束，可以創建具有非常精細特征的圖案，並且可以蝕刻到大約1 µm的深度。另外,兩個獨立的梁允許使用兩組單獨的參數。第一組參數可用於定義蝕刻的寬度和深度，第二組參數可用於選擇所需的蝕刻速率和蝕刻選擇性。APPLICED MATERIALS DPS II能夠進行多種蝕刻過程，包括各向同性蝕刻、各向異性蝕刻和發展性蝕刻。各向同性蝕刻是各方向蝕刻速率相等的過程。各向異性蝕刻是創建一個模式的過程，在該模式中蝕刻速率在每個方向上變化，從而產生一個角度的模式。發育蝕刻是指蝕刻速率可在一個方向上進行調整，從而形成一種降壓模式。DPS II的其他特性包括廣泛的氣體可供選擇，包括氟氣、氮氣、氯氣和氙氣，以及一個內置的微處理器，一步一步地精確控制所有蝕刻，並以單旋鈕、用戶友好的界面操作。系統還配備了一個高分辨率攝像頭,可以在蝕刻過程中快速進行調整。此外,它還具有多種安全功能,包括緊急耗盡系統和防止過熱的溫度監測。AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II是一款高級蝕刻器/asher,提供無與倫比的精度和靈活性。它的雙光束設計、高分辨率相機和各種氣體使其成為在各種表面材料上以驚人的精度和速度創建復雜圖案和形狀的強大工具。它內置的安全功能提供了額外的安全性,使其成為尋求精確蝕刻和灰化結果的用戶的首選。