二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9379759 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II是一種先進的、最先進的蝕刻器/asher工具。該設備采用先進的等離子體技術，設計用於從金屬到半導體的各種材料的高精度蝕刻和灰化。AMAT DPS II除了對各種材料進行高效的蝕刻/灰化外,還提供了卓越的工藝控制和精確的參數調整,以實現最佳蝕刻或灰分。這使用戶能夠獲得較高的過程重復性,實現高長寬比結構,同時保持優於預期的表面質量。APPLICED MATERIALS DPS II設計具有高輸出功率、出色的長期過程穩定性以及較高的晶圓吞吐量,使用戶能夠獲得最高的晶圓表面產量。其易用性和用戶友好的設計可幫助運營商最大限度地提高生產效率。DPS II包含一個高壓、低壓、通風壓力室。高壓室設計用於高速度蝕刻和可靠的再現蝕刻，低濺射後散射到晶片邊緣。低壓室用作蝕刻前的預清潔室，並作為具有兩個區域工藝的灰化器，以實現更高的均勻性。AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II還有一個內置的溫度控制系統，有助於穩定工藝溫度，從而提高蝕刻/灰度重復和均勻性。此外，該機組還有一個靜態中和器，以防止在蝕刻或灰化時在晶圓表面堆積正離子，以及接地壁以進一步降低電位充電。AMAT DPS II已被證明是制造高性能電路的可靠工具，也可用於先進的MEMS（微機電機械）應用。其強大的設計和用戶友好的界面使用戶能夠在最小的操作員幹預下實現卓越的蝕刻和灰化性能。該工具可靠、可重復且用戶友好。它即使在具有挑戰性的材料上也能提供高精度的蝕刻和灰化效果，使其成為設備制造的理想工具。