二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS Poly #9303002 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS Poly是一種主要用於半導體制造行業的蝕刻器/asher。它由一個加熱的聚乙烯輸送罐組成，在化學氣相沈積（CVD）腔內輸送晶片。這個腔室配有預熱器、射頻發生器、基板、火柴線圈以及其他組件。AMAT DPS Poly在一個腔室內有多個過程，使其能夠提供卓越的蝕刻和沈積過程結果。該設備采用雙頭、反應性離子蝕刻（RIE）技術，以及化學-機械拋光（CMP）工藝，用於增強半導體表面。系統內兩個獨立的磁頭設計允許同時蝕刻金屬和介電層。該單元還包括一個可編程控制器，允許用戶編程各種蝕刻輪廓步驟，以及腔室的溫度和壓力。這樣可以通過設置溫度、壓力和射頻功率水平來精確控制蝕刻和沈積過程。射頻發生器在等離子體蝕刻過程中產生穩態和脈沖射頻。可由程序控制器調節的匹配線圈用於控制等離子體蝕刻操作中路由阻抗變異性的路由。為提高APPLICED MATERIALS DPS Poly的吞吐量，AMAT實施了「基板級聯裝載機」。這允許兩個基板同時進行任何給定的過程。已知這種方法可大大縮短整體處理時間。APPLIED MATERIALS為DPS Poly開發的軟件也很容易使用。它具有直觀的圖形用戶界面，可用於快速輸入每個蝕刻或沈積過程的配方。該軟件還提供對腔室溫度、壓力和射頻功率水平的實時監控。最後，AMAT/APPLICED MATERIALS DPS Poly 蝕刻器/asher的特點使它成為尋找一種既能處理沈積過程又能處理蝕刻過程的多功能機器的人的絕佳選擇。它提供強大的功能，如基板級聯裝載機，雙頭RIE，和可編程控制器，以及易於使用的軟件。這些特性使得AMAT DPS Poly成為半導體工業中應用最廣泛的機器之一。