二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #293747936 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS是一種用於加工晶片的抗蝕劑asher/etcher。它利用兩個氣源從晶圓表面蝕刻殘留物料層。第一種氣體是一種氧基氣體，通過分解材料的碳鍵，使下面的矽膜暴露，促進抗蝕劑的去除。第二種氣體是鹵素基氣體，充當蝕刻劑，蝕刻掉暴露的薄膜。鹵素基氣體與矽膜反應，形成鹵化物離子，然後與氧基氣體反應形成揮發性化合物，然後通過廢氣排出。AMAT DPS被廣泛應用於先進半導體器件的制造中。它是各種研究和生產過程中的重要工具，如光致抗蝕劑剝離、化學機械平面化（CMP）、原子層沈積（ALD）。它也用於制造存儲芯片、邏輯門、晶體管、光伏電池等設備。APPLIED MATERIALS DPS由兩個截然不同的部分組成。第一個是腔室，它與設備的其余部分隔離，並在那裏進行處理。該腔室是將氣體和其他化學物質引入基材的地方。第二部分是送貨系統，通常由噴嘴和加熱器組成。註入噴嘴用來將氣體精確引導到晶片上，加熱器用來加熱晶片，使化學物質蝕刻到所需的區域。DPS還配備了反饋控制單元，以確保與每個流程的一致性和準確性。這有助於確保所需的圖樣被蝕刻，殘留物被精確去除。機器還具有故障檢測和報警報告功能，在蝕刻過程中提醒用戶任何差異。總體而言，AMAT/APPLIED MATERIALS DPS是生產先進微電子器件的強大可靠工具。該機具有精密的控制機和精密的蝕刻技術，對未來設備和產品的開發和制造至關重要。