二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #293747938 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS是一種平行版蝕刻/灰燼,設計用於沈積、蝕刻、剝離和/或退火各種材料。蝕刻程序/分類器使用配方進行編程,以實現批處理到批處理蝕刻過程運行的可重現結果。AMAT DPS系統提供先進的流程技術,包括自動化流程控制、配方自動化、診斷、最先進的流程硬件以及易於使用的操作員友好界面。APPLIED MATERIALS DPS設備提供了廣泛的配置選項和功能,例如可選的高頻偏置、自動樣品加載、大氣等離子體清洗和排氣過濾器。DPS系統專為一致性、可重復性和高生產吞吐量而設計。具有快速循環時間,AMAT/APPLIED MATERIALS DPS可確保精確的可重復過程控制,以及從批到批的可重復結果。數字化過程控制系統進一步確保了對蝕刻過程條件的精確控制，從而產生均勻的蝕刻或沈積結果。AMAT DPS系統具有優越的晶圓處理技術,用於樣品的放置和移動.高精度晶片對準技術利用自動的上下晶片支架進行精確的樣品放置和移動，晶片彎曲可忽略不計。樣品處理單元還具有精確的晶圓旋轉和升空控制功能。APPLIED MATERIALS DPS系統還具有集成的設備控制、配方腳本和性能監控功能。更先進的DPS系統具有基於攝像頭的自動樣品位置確定和自動蝕刻後清洗功能,以進一步確保可重現的蝕刻結果。集成診斷機器可以立即識別任何潛在的過程問題。AMAT/APPLICED MATERIALS DPS系統還具有清潔度和安全特性,包括捕獲HEPA過濾的廢氣工具和自動氣體廢水管理資產。AMAT DPS系統還具有可選的過程中OES監控模型,用於實時監控蝕刻過程結果。APPLICED MATERIALS DPS系統從成本效益到精密的模型，都能夠蝕刻各種材料，包括矽、石英、二氧化矽、多晶矽、砷化的、鋁等。