二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #293747939 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS（幹式等離子體帶）是一種用於蝕刻和灰化的設備。這臺機器使用等離子體和幹氧的組合來拋光和圖案表面的基材像晶片，面膜，或面膜上的晶片。它是一種專門用於從晶圓表面去除有機、無機和聚合物材料薄層的蝕刻器。幹式等離子體剝離過程以活性氣或正氣體作為能量來源開始，通常是氧氣。氣體隨後被對稱脈沖到非常高的頻率，產生等離子體。等離子體再註入一個真空室中，晶圓和基板表面在等離子體中暴露一定的時間。這導致沈積的分子或表面有機物從表面剝離。留下的顆粒隨後在機器的排氣系統中被帶走。在AMAT DPS中,蝕刻和灰化都是在一個過程中完成的。灰化過程通常在蝕刻過程完成後完成,因為它清除了蝕刻後留下的殘留物和碎屑。這個過程使基板表面的頂層保持清潔光滑，同時也改善了基板的附著力、表面形態和電性能。此外,APPLICED MATERIALS DPS 蝕刻器/asher已被設計為以高效率運行。蝕刻和灰化過程可以快速完成，結果一致且可重復。通過提供統一一致的蝕刻和灰化過程,DPS確保了對所有晶圓和基板表面的最高質量控制級別。簡而言之，AMAT/APPLIED MATERIALS DPS幹式等離子體帶是晶圓和基板表面蝕刻和灰化的理想設備。它使用等離子體和幹氧的組合，從表面剝去有機、無機和聚合物材料的薄層。此外，快速的過程和統一的結果保證了高水平的質量控制和統一。