二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #293749794 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS（D lithic P hotosensitized S emiconductor）蝕刻器/asher是一種用於半導體工業中先進的後光刻制造工藝的高性能工具。它旨在提供卓越的性能,同時保持較小的占地面積和成本效益。AMAT DPS蝕刻/灰分工藝以光熱化學工藝為基礎，利用強烈的紫外線輻射和高分辨率氣體混合物蝕刻光刻工藝所需的光敏層。APPLICED MATERIALS DPS工具的腔室相對較小,工作周期較短。它利用強烈的紫外線光源與註入室內的氣體產生光化學反應。然後，光致抗蝕劑層被分解，使基板的蝕刻/灰化以選擇性的方式。DPS蝕刻器在蝕刻/研磨過程中具有高分辨率、快速蝕刻/研磨速率和較低的基材溫度。它可以提供1微米的線寬，蝕刻/灰化率高達1.45微米/分鐘。它在較低的加工溫度（<80 °C）下運行,這將基板上因基板溫度升高而可能發生的熱損壞降至最低。AMAT/APPLIED MATERIALS DPS蝕刻器獨特的腔室設計，消除了對非凡功率輸入的需求，提供了高蝕刻均勻性。脈沖氣體輸送功能為蝕刻/灰化工藝提供了額外的好處。通過精確調整氣體註入時間和離子通量，可以更好地控制蝕刻/灰化過程。調整氣體註入時間，以減少氣體回擴散到晶圓表面，從而減少帶電粒子對表面的傷害。此功能還可實現工藝優化和改進蝕刻工藝。AMAT DPS蝕刻器是一種有價值的工具，用於在蝕刻/灰化過程中要求高分辨率和低基質溫度的半導體工藝。對於較高的吞吐量,可以修改APPLIED MATERIALS DPS以增加吞吐量,而不會降低性能。DPS蝕刻器是一種經濟實惠的先進後光刻工藝解決方案。