二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #9204533 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS（深層等離子體帶）是一種主要用於半導體制造過程的蝕刻器/asher。它能夠同時進行多次去除操作，如蝕刻、等離子體清洗、微剝離和晶圓剝離，同時在各種基材上保持均勻的蝕刻速率。設備獨特的硬件架構包括分離室和控制室，使其能夠在三個蝕刻階段之間快速循環，並具有可調的停留時間。這使得腔室可以在蝕刻模式之間切換，同時保持工藝精度和可重復性。AMAT DPS最常用於去除從薄層到非常厚層的光刻膠、聚合物層和金屬膜。它適用於許多快速蝕刻無缺陷表面至關重要的過程,例如制造MEMS器件、IGBT和SOI晶片。也適用於接觸孔清潔、通過蝕刻回、溝槽隔離、縫隙填充等其他工序。APPLICED MATERIALS DPS具有半導體級真空系統，用於工藝室外墻，以及低壓氮氣和氧氣凈化能力。這支持了100%氣體支持的環境，在降低壓力的過程室，允許控制混合氣體清洗循環與均勻蝕刻結果。它提供對過程化學、壓力、溫度的控制，對射頻功率、壓力、流量等參數進行精確調整。該單元包括幾個功能,以確保最佳性能。一個這樣的特點是DPS以出廠設定的脈沖速率和可調脈沖寬度提供脈沖功率。速度可以從80到200 Hz的增量調節。這提供了高精度的重復性過程，以減少損壞基板的風險。此外，AMAT/APPLIED MATERIALS DPS具有易於進入的腔室設計，能夠快速清潔和維護。這減少了停機時間，並通過消除打開腔室和清潔晶片的需要來防止汙染。總體而言，AMAT DPS是一種用途特別廣泛且可靠的蝕刻器/asher，為半導體制造中的一系列工藝提供高度一致的結果。它是一臺直觀的機器，為用戶提供對加工參數的完全控制，使他們能夠使過程適應不同的基板和層。