二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #9204820 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS（Deep Silicon Etcher/Asher）是用於制造高性能器件的半導體制造過程的關鍵工具。它是一種高通量、多室處理設備，能夠可靠地提供必要的開發和制造技術，將精確的圖樣切割成矽片。AMAT DPS系統由兩個由墻壁隔開的主腔室、負載鎖和排氣室組成。第一個腔室容納加工模塊，並包含兩個蝕刻板，放置晶片進行加工。這個腔室充滿了一種氣體，這種氣體通常是含氯和含氟化合物的混合物。第二個腔室包含一個活塞和一個線性運動級，為蝕刻和灰化提供必要的作用力。負載鎖用於在兩個腔室之間移動晶片，而不允許環境與腔室內部的氣體混合。APPLIED MATERIALS DPS平臺具有蝕刻和灰化兩個主要過程。蝕刻用於在具有角度輪廓的矽片中創建淺口袋,而灰化則用於去除蝕刻過程中剩余的任何材料。DPS工具提供高精度的蝕刻和ashing功能,具有可重復的過程和跨晶圓的精確均勻性。為了實現這一目標，該裝置利用高度專業化的光學器件和光束轉向機構，以確保每個晶片都能施加適當的時間、能量和深度。AMAT/APPLIED MATERIALS DPS機的應用多種多樣，涵蓋了廣泛的部門。用於高速/高產半導體生產、顯示器件制造、薄膜器件制造等多種技術。該工具也被用於先進的光掩模生產和MEMS（微機電系統）制造。此外，它用於制造電子互連、高密度存儲器和IC封裝的元件。AMAT DPS平臺具有先進的功能集、精確度和靈活性，是半導體制造和器件制造持續發展的重要組成部分。該資產旨在滿足嚴格的行業標準並提供可靠的操作,從而提高收益率和性能。