二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #9209124 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS 蝕刻器/asher是一種真空壓力蝕刻器/asher，用於創建專用元件和半導體器件。它是一種可靠、可靠、可重復的蝕刻和灰化工藝，滿足所有嚴格的行業應用要求。AMAT DPS具有單一的機櫃設計,其中包含等離子體源、試劑系列、腔室組件、工藝氣體和控制電子/GUI軟件。APPLICED MATERIALS DPS可以在包括金屬、氧化物、氮化物和低k介電膜在內的多種工業半導體材料中產生高質量、可重復的蝕刻和灰分。機器帶有一個大腔室，可以在晶片的所有區域進行更均勻的蝕刻和灰化，而不會產生任何「邊緣效應」，這可能導致潛在的芯片故障或屈服損失。帶有DPS的自動循環控制可維護必要的流程參數,以實現一致的批對批均勻性,而內置診斷程序可實時監控系統性能和報告結果。DP Etcher/Asher允許用戶自動調整腔室的壓力和溫度，每次都允許更精確的蝕刻/灰燼。此外，可用的加工窗口種類繁多，適合蝕刻各種材料和基材。蝕刻器/asher帶有漸進式源控制功能。這允許用戶根據正在處理的應用程序有選擇地混合等離子體源、試劑和氣體的功率。這樣可確保精確高效的蝕刻/灰化。該裝置還帶有一個直接供氣分配系統，該系統將過程氣體精確地以正確的混合和數量輸送到等離子體室中。這是配合級聯氣體成分控制微調過程控制。該機也非常用戶友好可靠，由於直觀的HMI（Human-Machine Interface）包含了自動化功能和圖形化的用戶界面數據庫以方便流程設置和調整。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS DPS還包括內置的安全功能,以保護組件免受損壞和意外蝕刻/灰燼結果的影響。這包括互鎖、壓力傳感器、出口氣流探測器和關斷安全傳感器。最後,AMAT DPS Etcher/Asher是一種高效、可靠且經濟高效的蝕刻/灰化系統,用於創建高質量、精密的元件和半導體器件。其強大的功能、可靠的控制和獨特的用戶界面,可實現卓越的可重復性和高吞吐量。各種安全功能確保組件在過程中不會損壞。