二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #9270844 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS（深矽蝕刻）Asher是半導體工業常用的專用蝕刻設備。它旨在為基於深矽的蝕刻應用提供高度精確的蝕刻工藝。該系統利用高頻射頻驅動的電感耦合等離子體源實現矽材料的深度蝕刻。通常,AMAT DPS系統由腔室、控制器和相關硬件組成。腔室是一個全金屬的圓筒真空腔室，能夠達到高壓和溫度。此外,它還設計用於容納矽片,並為ICP源提供空間。控制器提供過程控制，監控蝕刻過程的不同方面，如真空水平、氣體壓力、溫度和射頻功率輸出。這些都連接在一起，形成蝕刻機的骨幹。蝕刻過程從晶片裝入腔室開始。接下來，氣體混合物被引入腔室，以及高頻射頻信號。這個射頻信號負責加熱ICP源，然後形成等離子體，在腔室中產生反應性環境。射頻信號有助於引起矽片的離子轟擊，斷裂材料的鍵並導致蝕刻。此外，該裝置的設計確保了有效的氣體利用。它還允許對蝕刻工藝進行現場監控以及快速調整工藝參數的能力。控制器還具有其他一些功能，如蝕刻前和蝕刻後清洗、晶圓溫度和方向控制、蝕刻後計量、晶圓裁剪、配方生成等關鍵工藝。總體而言,APPLIED MATERIALS DPS系統以可接受的速率提供高度均勻、精確的蝕刻,同時避免成核、火花或深度蝕刻應用中常見的其他問題。該機為半導體工業的矽材料精密蝕刻提供了高效可靠的解決方案。