二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #9396746 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS是為微電子生產而設計的自動化幹式蝕刻器/灰化器。它能夠使用基於等離子體的物理氣相沈積（PVD）技術清洗、平面化和蝕刻小型復雜組件。AMAT DPS蝕刻器基於旋轉磁控管濺射源,其設計目的是利用極精確的光束在超短時間內蝕刻微小的特征。它使用了一種獲得專利的離子束技術，這種技術產生一種聚焦和受控的等離子體流動，以針對微小的特征或其他感興趣的領域。APPLICED MATERIALS DPS蝕刻器使用無源磁錐，有助於精確監視其位置並傳遞均勻的離子束進行濺射。它還使用自動化的等離子體壓力設備來監測等離子體氣體、真空水平和等離子體流動的電離。自動化控制系統能夠控制壓力、沈積速率和等離子體發射器參數，以實現高度可重復、均勻的結果，同時盡量減少人工幹預。此外，蝕刻器還配備了高精度分段溫度傳感器，使組件在其三維環境中可重復對準。該裝置還具有多氣態能力，具有用於氣態前體和後等離子體的腔室，這對於多層沈積至關重要。此外,它還具有內置的散熱機床,可從目標部件散熱,從而使能量分布更加均勻,從而防止快速熱變化所產生的任何熱沖擊。DPS蝕刻器被設計為與大多數沈積材料兼容，從石墨烯到鋁。它的熱穩定性保證了它可以處理極端溫度，使其適合興奮劑和金屬沈積等先進工藝。此外，它還有一個嚴密的安全機制，包括在不安全的情況下自動關閉。它還具有自動汙染控制工具，以避免基板之間的交叉汙染。最後，AMAT/APPLIED MATERIALS DPS為微電子生產提供了一種功能強大、用途廣泛的幹蝕刻和灰化工具。它具有自動化的控制資產,可實現準確、可重復和均勻的材料沈積,是一種更經濟的自動化蝕刻器,可為大批量生產提供可靠、經濟高效的解決方案。