二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #9401495 待售

AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS DPS（幹加工設備）是一種先進的蝕刻和灰化技術，用於半導體等行業的高精度蝕刻和灰化。它旨在支持多種材料和工藝，如幹蝕刻、洗滌夾層、清潔、表面和整體處理以及修復。該系統主要由工藝模塊、輔助模塊、基座和化學分配單元四部分組成。工藝模塊是蝕刻和灰化的主要貢獻者。它包括一個裝有離子植入器的水平真空室和一個節氣門，氣體通過該閥供應到該室。向離子植入器提供高頻射頻功率，導致腔內電場強烈。這在室內產生了一個等離子體，使離子能夠加速到所需的能級，然後可以用來剝離材料。輔助模塊包含形成等離子體磁場的電磁線圈，以及一大堆溫度、壓力和其他傳感器，以監測和控制過程。它也作為加熱氣體的來源，提供更平滑的蝕刻圖樣。此外，它還可以包括一個批量的石英晶體監測器，用於監測蝕刻和灰化的進展。基座（Pedestal）是安裝在真空室頂部的一個腔室，為過程中的晶片提供底座。它也被用於標本檢視，並能夠配備負載鎖技術，讓晶片能夠快速方便地裝卸。化學分配機是AMAT DPS的最後一個元件，由一系列計算機控制的泵和閥門組成，用於在蝕刻和灰化過程中向腔室供應所需的化學品。這確保了一個穩定和一致的過程,並為用戶提供了對過程參數進行微調的機會。APPLICED MATERIALS DPS是一種功能強大、高效且用途廣泛的工具,用於各種測量基板的蝕刻和灰化。它的組件設計精確度和可靠性，為用戶的過程提供了最高的精確度。由於其精密的控制系統和適應性,DPS可以在短短幾分鐘內提供精密蝕刻零件,因此非常適合各種應用,包括半導體制造、材料研究和元件生產。