二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS2 #9298479 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS DPS2
ID: 9298479
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
System, 12" 2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS DPS2是一種蝕刻器/asher,提供高質量的介電和金屬蝕刻應用。AMAT DPS2能夠在生產環境中對多種材料進行高效、可重復和經濟高效的等離子體蝕刻。這款asher特別設計了一系列等離子體蝕刻參數,即使在大型晶片和面板上也能產生出色的蝕刻均勻性。應用材料DPS2是一種高度通用的蝕刻器。它與所有類型的插槽模具和磁帶安裝的蝕刻工具完全兼容。它允許廣泛的蝕刻配方,可以用來蝕刻金屬和介電層。DPS2與先進的控制系統一起運行,該系統可實現精確且可重復的蝕刻,且各批之間的工藝變化最小。AMAT/APPLIED MATERIALS DPS2配備了獲得專利的邊緣跟蹤系統,可確保整個晶圓邊緣和表面的線性蝕刻速率。該系統能夠實現均勻的蝕刻剖面,以實現微孔的均勻致密化,對特征進行更好的尺寸控制,並提高產量。AMAT DPS2是一款緊湊但功能強大的蝕刻器。其緊湊的設計適合標準生產外殼內部,其防護塗層對反應性氣體具有抵抗力。APPLIED MATERIALS DPS2帶有機載安全功能,如熱鎖定、排氣分流和工藝監控端口。該蝕刻器還采用了Peltier冷卻器設計,提供了高效的冷卻過程,可確保操作過程中大氣穩定並防止汙染。DPS2是一個低維護的asher。它需要最少的操作員幹預,工作壽命長。高流程可靠性是通過幾個軟件和硬件組件實現的,包括一個單獨的控制器單元、一個流程控制板和軟件程序。定期監測和更新所有這些組件,以確保可靠的蝕刻工藝。AMAT/APPLIED MATERIALS DPS2是一款經濟高效、高性能的蝕刻器。它提供了金屬和介電層的高質量蝕刻,具有高度的精確度和可重復性。AMAT DPS2是任何需要高效、準確蝕刻解決方案的生產環境的理想解決方案。
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