二手 AMAT / APPLIED MATERIALS E-max #9181384 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS E-max是一種高級蝕刻器/asher設備,旨在支持先進的晶圓陣列應用。AMAT E-max 蝕刻器/asher在單個系統中結合了蝕刻、ashplasma和RIE（反應性離子幹蝕刻）工藝。這為晶片處理操作提供了一個動態體系結構,具有高的生產率、卓越的過程可重復性和最小的維護。單元架構由生產核心和測試核心兩個並行子系統組成。生產核心提供過程氣氛、裝卸和過程控制，而測試核心則用於過程開發和生產批次的驗證。APPLIED MATERIALS E-max提供了許多高級功能,以提高效率和提高產量。它支持高效的灰質體處理，最小的濺射損傷和最小的灰分沈積。通過使用先進的多區域處理和多射頻電源，進一步提高了工藝的均勻性。該機器還配備了實時診斷工具，提供等離子體環境的原位診斷能力，使流程優化和改進成為可能。除了先進的工藝能力外，E-max還采用先進的原位潔凈室技術，可實現低成本、高效的無顆粒清潔。這可以顯著降低晶片加工成本，因為汙染物可以就地清除，從而減少了在單獨處理步驟中手動清洗的需要。最後,AMAT/APPLIED MATERIALS E-max提供了與各種MES/SAP系統集成的全流程自動化和集成解決方案。這樣可以在晶圓處理操作期間實時獲取數據和控制過程,從而實現精度和過程優化。AMAT E-max為晶圓處理操作提供了可靠且經濟高效的解決方案。其先進的蝕刻、ashplasma和RIE功能使過程可重復性和原位清潔能夠降低成本。資產的實時診斷和自動化解決方案可實現準確性和流程優化。所有這些功能結合在一起,使APPLIED MATERIALS E-max成為任何高級晶圓處理應用程序的功能強大且用途廣泛的蝕刻器/asher。