二手 AMAT / APPLIED MATERIALS EFEM for etcher #9376103 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS EFEM for etcher是一款功能齊全的蝕刻設備,旨在滿足各種行業的需求。EFEM具有高吞吐量、精確的層厚度控制和低消耗品消耗,為高精度蝕刻應用提供了靈活且經濟實惠的解決方案。EFEM系統包括一個能蝕刻多種晶圓尺寸的真空室，帶有兩軸機械級，方便晶圓在腔內放置。射頻發電機為腔室供電，該腔室用於蝕刻晶圓表面上的材料。氣箱為蝕刻過程提供受控氣氛，真空歧管調節腔室壓力和流量。EFEM還具有一個負載鎖定單元,允許從腔室加載和卸載晶片。這臺機器消除了人與蝕刻室的接觸，有助於減少空氣中的顆粒，提高蝕刻效果。此外,負載鎖定工具允許用戶按順序處理多個晶片,從而提高吞吐量並實現高效處理以實現高精度蝕刻。該資產的設計效率很高，生產率很高，配備了高效的射頻發電機和一個低消耗的燃氣箱。射頻發電機提供出色的蝕刻速率和均勻性,確保最終產品達到最高質量標準。燃氣箱消耗少量消耗品，降低了與蝕刻工藝相關的成本。EFEM配備了內置的計量模型，允許用戶測量蝕刻速率、臨界尺寸（CD）控制、厚度控制、層表面質量等各種參數。此設備使用戶能夠監控蝕刻過程並調整參數以實現所需的蝕刻性能。用於蝕刻器的AMAT EFEM是經濟高效生產高精度蝕刻的絕佳選擇。設計可靠、高效、準確，提供出色的層級控制、均勻蝕刻、快速吞吐量。該系統先進的技術和特點使其成為尋求經濟可靠蝕刻解決方案的公司的理想選擇。
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