二手 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #293587502 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+是一種先進的蝕刻和灰燼系統,旨在使高精度蝕刻和灰化過程更容易和更高效。該機是一種結合了高端蝕刻和灰化系統，與先進的工藝和軟件控制的工具，成為一個單一的集成平臺。AMAT EMAX_CT+機是一種精密蝕刻和灰化的多功能解決方案。它提供了一致的蝕刻深度和均勻的蝕刻微觀地形，並為Si、GaAs和CdS等顆粒的抗剝離和蝕刻提供了沈積和蝕刻配方參數的工藝控制選項。該機配備了集成的反脈沖發生器，為離子束蝕刻過程提供了可重復的時間和持續時間。Sub-1µm精度和0.05 µm精度使其成為從簡單的幾何蝕刻任務到需要高精度的高級研究項目等應用的理想解決方案。軟件自動化設備旨在降低運營成本並提高整體流程性能。設計了各種功能、軟件和控制,以確保即使使用具有挑戰性和敏感性的基板也能保持所需的蝕刻參數和工藝。用戶友好的前面板可輕松訪問配方、參數、操作條件、警報和過程統計信息。安裝向導和集成診斷程序進一步簡化了操作。應用材料E-MAX CT+具有一個封閉的腔室，具有先進的安全特性，可最大程度地減少人員接觸顆粒和蒸氣。它旨在滿足嚴格的安全和操作要求。此外，根據邊緣隔離、電壓模式技術和軟件穩定參數進行蝕刻，確保優化工藝效果。維護和維修程序既快又容易，因為用戶只需要定期更換蝕刻室的內襯即可。E-MAX CT+會在每次蝕刻會話之前自動完成工藝室的裝配和測試,從而縮短系統設置時間,同時確保準確性和可靠性。綜上所述,AMAT/APPLICED MATERIALS E-MAX CT+蝕刻和灰化系統是一種適合蝕刻和灰化工藝要求低於1 µm精度、可重復結果和最大工藝控制的理想解決方案。集成的反向脈沖發生器、過程控制以及易於設置和維護，使這臺機器成為高級蝕刻機不可或缺的工具。