二手 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #293753868 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+是一種蝕刻器/asher設備，設計用於高可靠性和高達512°C的工藝溫度。它集成了射頻功率、壓力和溫度控制兩個蝕刻和灰分模式和高均勻性。該系統針對高蝕刻率和最大程度地減少對基材的損害進行了優化。該單元配備了一個高精度的移動卡盤，在蝕刻或灰化過程中提供精確的定位和掃描。這有助於實現卓越的工藝一致性。它還具有射頻發電機,提供卓越的電力傳遞和穩定性.這有助於實現高蝕刻速率以及對各種材料蝕刻應用的良好選擇性。機器由SABRE控制器供電。這款高性能控制器旨在提供準確可靠的編程、精確的壓力和溫度控制以及易於使用的人機接口（HMI）。它還提供實時統計過程監控、自動樣本識別和配方優化功能。該工具還提供了多種功能,旨在優化蝕刻和灰化過程。它提供了可選的蝕刻配置文件,如恒定速率蝕刻、線性或可編程的p-t配置文件以及可選的掩碼模式。該資產還支持溫度感測和蝕刻速率控制，以實現最佳工藝穩定性。先進的閉環溫度控制模型可確保整個基板的溫度高度均勻。此外，該設備還提供復雜的診斷功能，如過程監測、腔室氣體運動檢測和先進的基板應力分析。它還包括先進的安全聯鎖，幫助確保安全操作，即使在意外的過程短途旅行。總體而言,AMAT EMAX_CT+是一個高級蝕刻器/asher系統,可提供出色的過程穩定性、統一性、選擇性和可靠性。它是蝕刻和粉刷各種材料的絕佳選擇。