二手 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9189026 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+是一種精密的幹蝕刻和灰化解決方案,旨在提供半導體制造過程中的精確結果。這種功能強大的幹蝕刻和灰化器集成系統具有先進的等離子體工藝和晶圓傳輸自動化，兩者都能提高生產率和提高均勻性。該系統利用革命性的等離子體過程，將低壓、高功率和磁場參考結合在一個腔室中。這提供了更高的蝕刻選擇性、出色的均勻性和更高的吞吐量的獨特組合。然後，自動晶片傳輸確保每個晶片被精確地放置在蝕刻室中，並通過增加多個級，確保在精確控制總蝕刻時間和蝕刻重復性的情況下完成蝕刻和灰化過程。此外,集成的閉環模塊提供了一定程度的自動化和靈活性,使AMAT EMAX_CT+半導體行業中各種硬質材料的快速制造和加工的完美解決方案。利用閉環模塊，可以自動調整壓力、偏差和功率等蝕刻參數，使其符合所需的性能標準。無論腔室溫度或正在處理的晶片數量如何,這都能提供一致的結果。此外，這些腔室的設計即使在處理不同晶圓尺寸時也能保持均勻性，從而確保高產量和可重復性。集成的可視化和優化工具使APPLIED MATERIALS E-MAX CT+成為市場上最精確的幹蝕刻和asher解決方案。控制單元中依賴於平臺的診斷允許實時監控蝕刻選擇性和晶圓溫度。這意味著任何具有等離子體工藝參數的問題都可以快速準確地識別和糾正。此外,蒙特卡洛分析和二維模擬等綜合分析工具為操作員提供了詳細的系統分析,以便能夠快速確定性能的最優條件,並以最小的操作員幹預。AMAT E-MAX CT+結合了先進的等離子體處理技術、自動晶圓傳輸以及集成的診斷和優化工具，是半導體行業精密蝕刻和灰化工藝的終極選擇。