二手 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9193737 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+是一種用於各種半導體工藝的高性能蝕刻器/asher。該設備采用高效雙頻蝕刻和灰化技術，提高了選擇性、工藝一致性和低擁有成本。CT+配備了先進的基於Interca-TM的光學控制系統，用於精確的晶圓對晶圓控制，並允許廣泛的蝕刻參數設置。AMAT EMAX_CT+ asher能夠蝕刻25到200 mm之間的目標基板.它具有廣泛的功能，包括高壓、低壓、可變壓力ashing、熱ashing、蝕刻。其自動調諧單元可快速優化任何給定過程的灰化過程條件。CT+能夠比其他類似系統實現更快的蝕刻速率,再加上占用空間小,使其成為大容量晶圓處理的理想選擇。機器封裝在一個10類潔凈室兼容的外殼中，並使用高流量、抽水的外殼，使有害產品遠離操作員。它的加工站安裝在一個清潔房間兼容的機械臂上，對工具的輸入包括晶圓提升銷、驅動主軸、掩模處理和可調節的噴嘴配置。可編程熱板可實現精確的蝕刻停止控制和灰度溫度穩定.資產的CF4氣體輸入受到流量控制和監控，以保持最佳工藝條件。APPLICED MATERIALS E-MAX CT+適合於廣泛的應用，包括半導體蝕刻、光致抗蝕劑剝離、蒙版和光致抗蝕劑曝光、灰化、清潔和氧化。可用於退火活化、金屬沈積蝕刻、等離子體後處理、薄膜沈積。該模型以低功耗運行，為經濟高效和環保的解決方案產生最小的浪費。它體積小，效率高，是高容量晶圓加工的理想選擇。