二手 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9235112 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+Etcher/Asher是一個先進的蝕刻和清潔平臺,旨在滿足半導體行業的各種蝕刻和清潔要求。該設備配備了最新的等離子體蝕刻技術，為高長寬比孔、淺溝、側壁提供了有效的解決方案。該系統能夠處理各種各樣的腔室大小和類型，允許對大小晶片進行蝕刻。該裝置采用低應力技術的高頻電源，以確保高質量的蝕刻輪廓。滿載平臺具有與單陰極機同時處理多達六個大晶片的能力。它在整個晶片盆地都有溫度控制，包括可調節溫度和射頻分布，以便更好地控制過程。AMAT EMAX_CT+配備了直觀的HMI，使操作員能夠定制預編程配方，設定工藝氣體和時間、壓力、溫度等輸出參數。APPLIED MATERIALS E-MAX CT+工具非常適合MEMS封裝的SiO2蝕刻、晶圓切丁和鈍化層等應用。它也適用於蝕刻後的殘渣清除過程，如濕洗或幹洗。該資產被設計為比傳統系統更堅固可靠，使其成為生產級騎行時間的理想平臺。EMAX_CT+型號采用先進的安全性、效率和控制功能。它配備了自動晶粒識別，減少了晶粒標記的外觀。它具有檢測和監測異常氣體使用和儲層壓力的內置氣體報警能力。自檢功能允許自動定期自檢，以便更好地管理設備。該系統還配備了氣流監測儀和氣體消耗監測儀，減少了氣體的使用。加上易於維護和可更換的部件,減少了時間和成本。E-MAX CT+是精密蝕刻和清潔應用的理想解決方案。它為各種晶片和應用程序提供了出色的蝕刻型材和工藝控制。堅固的設計、直觀的HMI、先進的安全和控制功能以及可交換的部件使APPLIED MATERIALS EMAX_CT+成為半導體生產和研究的理想蝕刻器/粉碎器。