二手 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9261583 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+蝕刻器/asher是為先進的半導體器件制造而開發的高性能、半自動的加工設備。它為精密蝕刻和清潔過程提供了卓越的功能。該系統采用基於鹵素的蝕刻和灰化方法，以具有成本效益的速率達到最高性能水平。利用其獲得專利的氣櫃技術，蝕刻器/asher能夠可靠地蝕刻半導體材料，而無需昂貴、繁瑣的手動工藝。該設備高度自動化,具有自動化的過程控制和直觀的用戶界面。與傳統的處理系統相比，AMAT EMAX_CT+蝕刻器的一些關鍵特點包括：低溫氣體電容、快速循環時間和低功耗。該機利用反應性離子蝕刻（RIE）等先進的蝕刻特性，在半導體材料中精確成型和形成必要的特性。利用嚴格的工藝控制設置,APPLICED MATERIALS E-MAX CT+蝕刻器/asher可以蝕刻比9 nm更薄、比10 µm更精細的柵極氧化層。可編程過程配方還允許用戶優化產量，減少復雜過程的周期時間。鹵素種類的使用使得該工具能夠蝕刻大量摻雜的材料，短路的風險可忽略不計。內置的安全功能包括過載保護、水位檢測和50毫米臭氧安全屏障。鹵素加工機櫃利用冷藏幹燥機技術提供清潔的加工氣體，提高了資產的蝕刻性能。一個開放的工藝室使晶片能夠完全訪問，從而使我們的蝕刻器/asher能夠快速和方便地維護。該模型具有緊湊而堅固的設計,可輕松集成到各種現有半導體制造環境中。APPLICED MATERIALS EMAX_CT+ etcher/asher是半導體制造的寶貴工具,提供卓越的性能和成本效益。憑借其最先進的蝕刻和灰化能力，該設備能夠滿足先進半導體工藝的最嚴格要求。其特點使得高產量、高性能集成電路的可靠制造成為可能。