二手 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9271007 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+Asher是一種用於蝕刻和灰化應用的單晶圓處理設備。該系統能夠提供業界最高的吞吐量和最高的生產率,使客戶能夠滿足不斷增長的產量要求並降低成本。AMAT EMAX_CT+是中低批量生產的理想選擇,具有廣泛的產品功能,如高精度蝕刻、復雜的高縱橫比結構蝕刻,以及鋁和矽之間極好的選擇性。APPLIED MATERIALS E-MAX CT+利用了先進的冷卻技術（ACT）體系結構,這是一個精確、高流量的加熱器-冷卻器組織,可實現快速的過程控制和熱特性。這種專有體系結構可確保晶片之間以及單個晶片上的模具之間有效且均勻的熱分布。它允許快速設置和卓越的過程控制和調整能力。閉環單元和過程控制器緊密相連，能夠實時監測和調整配方參數，而不會中斷晶圓處理。APPLICED MATERIALS eMax CT+能夠對具有亞微米級特征尺寸（<0.5 μ m）的電介質進行高精度蝕刻。其可自定義的工藝程序允許對蝕刻工藝進行微調優化，以實現精確的層厚控制，這是設備可靠性的關鍵參數。高溫範圍（最高300 °C）能夠蝕刻耐高溫氧化物，如PECVD氮化物，以及金屬和SiO₂之間的高選擇性。AMAT eMax CT+提供最多三種端點檢測技術的選擇，包括紫外線反射率、熱測法和熒光測量。這使客戶能夠為其設備體系結構選擇最佳檢測技術。例如，通過結構底部需要高分辨率的結構，熱力計端點檢測是高長寬比的理想選擇。熒光端點檢測是大型結構全表面蝕刻的理想選擇，而紫外反射端點檢測則是薄膜蝕刻的理想選擇。APPLICED MATERIALS EMAX_CT+是蝕刻和灰化應用的理想平臺。獨特的雙工藝室技術提供了兩全其美的技術：一個用於精確特征形成的幹蝕刻室和一個用於快速去除材料的清潔蝕刻室，幫助客戶減少周期時間並提高工藝產量。此外,內置的燃氣混合機通過優化燃氣流量、壓力和燃氣輸送,並以最小的人工幹預,幫助客戶降低擁有成本和改善正常運行時間。綜上所述，AMAT E-MAX CT+是一種用於蝕刻和灰化應用的高度可靠、高效、精確的單晶圓處理工具。其先進的制冷技術（ACT）體系結構、高溫蝕刻範圍、可定制的工藝程序以及可選的端點檢測技術使其成為希望最大限度地提高生產效率、精度和可靠性的客戶的理想選擇。