二手 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9298224 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+是一款高性能蝕刻器/asher,旨在為一系列先進的半導體應用提供高質量的結果。它用於對具有復雜特征的高級半導體器件的曲面進行陣列設計,如內存、邏輯、RF和顯示應用。此工具具有高級均勻性控制和各種蝕刻過程,可用於諸如接觸孔蝕刻、柵極蝕刻和Via蝕刻等應用程序。AMAT EMAX_CT+具有先進的800MHz等離子體源,能夠進行等離子體蝕刻、交流灰化和濕式剝離。其創新的氣體輸送設備對蝕刻工藝提供精確和可重復的控制,而其高功率的預測量室能夠對進入的晶片進行精確的測量,並自動調整以適應任何晶片不匹配。此外,APPLIED MATERIALS E-MAX CT+還配備了最新的安全鎖定技術,可防止未經授權的人員操作系統。該設備還提供高級自動化功能,以提高吞吐量和用戶生產率。AMAT綜合流程控制和診斷軟件包可用於進一步改進蝕刻結果。最後,eMax CT+還提供了廣泛的處理功能,從低頻10-80kHz到高頻(400MHz)。這樣可以確保在復雜設備上均勻蝕刻,即使蝕刻速度最高。它也是業界首個具有群集功能的蝕刻器/asher,提供專屬的自我評估功能,使機器能夠自動為指定的進程選擇正確的操作參數。總體而言,APPLIED MATERIALS EMAX_CT+是一款先進高效的蝕刻器/Asher,可提高速度、精度和可重復性,非常適合先進的半導體技術。憑借其獨特的特性和功能,它為高級用戶提供了在每種產品中獲得最佳性能的能力。
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