二手 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9314602 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+是一種蝕刻器/asher設備,用於修改一系列基材的地形以創建所需的表面光潔度。該系統非常適合半導體器件的制造，並經常用於集成電路的後端處理。AMAT EMAX_CT+可用於蝕刻或粉刷基板地形中的各層，包括鋁、鈦、銅和矽。它可以進行多種蝕刻/灰化工藝，如幹蝕刻或濕蝕刻、濕條、深反應性離子蝕刻（DRIE）和電化學蝕刻（ECE）。該單元還提供了一個額外的蝕刻/灰化工具,可以精確控制工藝參數,如蝕刻時間和溫度。APPLIED MATERIALS E-MAX CT+配備了三級端點檢測（EPD）機。此刀具在蝕刻/灰化過程中監視基板的電阻率和層厚度。利用環保署的資產，可以準確預測工藝的終點，從而確保達到所需的表面光潔度。此外，該模型允許在同一基板上進行多次蝕刻/灰化運行，而無需重新設置EPD設備的參數。E-MAX CT+是一個大型且可靠的系統,提供卓越的性能和準確的結果。它能夠精確蝕刻/灰晶片，尺寸可達300毫米，並且可以在受控的氣氛中運行蝕刻/灰化過程。而且，該單元配備了全自動裝卸機，以及一系列的流程監控功能，如數據記錄、流程映射、配方管理等。由於其先進的功能,AMAT eMax CT+是需要精確度、速度和精確度的基板加工行業的理想蝕刻/粉碎器工具。此外，該工具易於使用和維護，並得到非盟特派團全面技術支持。