二手 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9375192 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 9375192
Oxide etcher
(3) Chambers
(12) Gas panels
AMAT ETCH Configurable AC Rack
RF Generator rack
FI (EFEM):
UPS
Keyboard Video Mouse (KVM)
Ethernet switch hub: CTRLINK
Fast Data Gateways (FTG)
Long flex controller Assy (Flex 4)
Light curtain
Load port
RFID
ATM Robot
Aligner
Track
Robot controller
Gas panel temperature controller
Light tower
Intake plenum enclosure
MF Platform:
Type: 5.3 FI
TM Robot
TM Robot controller
I-Pump
TM Baratron gauge
Load lock vacuum gauge
Load lock indexer controller
Load lock and TM Diffuser
Load lock vent valve
Auto Pressure Controller (APC)
Slit valve
Modular DNET IO Controllers (MDI)
Chamber A, B and C:
Chamber Control Modules (CCM)
Shower head
Chamber liner
Cathode liner
Slit liner door
MAG Driver
ESC High Voltage Module (HVM)
Throttling gate valve
Embedded endpoint
Ceramic puck
HE Controller
Vacuum gauge
Vacuum switch
Pump
ISO Valve
RF Generator and match box.
AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+是一個先進的蝕刻/分散平臺,旨在為集成電路的制造提供卓越的性能。它針對3D/2D蝕刻進行了優化,通過離子束、電感耦合等離子體和磁力驅動過程的組合,具有高密度、超精細的陣列功能。AMAT EMAX_CT+通過結合高壓磁流體動力（MHDF）和低壓感應耦合等離子體（ICP）技術,提供業界領先的蝕刻能力。它能夠創建復雜的3 D幾何形狀,非常適合微型制造高級設備,包括半導體、光電和MEMS組件。APPLICED MATERIALS E-MAX CT+高度可定制，可配置各種等離子體和離子束技術，用於要求最苛刻的應用。它易於使用，確保快速可靠的基板蝕刻工藝，同時提供卓越的空間分辨率，對於最新的小型化設備技術至關重要。APPLICED MATERIALS EMAX_CT+的工藝室有幾個特點，在蝕刻過程中最大限度地提高基板的壓力和溫度均勻性，確保最佳的基板均勻性和等離子體穩定性。該腔室也是低維護，100%無泄漏，並且需要最少數量的操作員參與。蝕刻過程在封閉的環境中進行，特定的特性如Peltier泵、雙密度晶圓處理和先進的溫度監測工具有助於減少顆粒物汙染。這些特性使AMAT eMax CT+成為經濟高效制造集成電路的絕佳平臺。E-MAX CT+利用可再生和惰性氣體來減少環境影響並限制危險材料的處理。它具有氣體輸送系統,可確保工藝氣體的精確高效輸送,為當今的現代制造要求提供靈活可靠的蝕刻平臺。AMAT/APPLIED MATERIALS EMAX_CT+是一個可靠且易於使用的蝕刻/分散平臺,旨在為電路制造需求提供準確性和一致性。其優越的均勻性和高密度造型能力使其成為高精度、3D/2D制造的絕佳選擇。
還沒有評論