二手 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9379801 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+是一種精確的等離子體蝕刻和灰化設備,旨在支持各種現代先進技術操作。其最先進的、用戶友好的設計使蝕刻、清潔和灰化操作具有前所未有的準確性。AMAT EMAX_CT+的設計註重流程性能、高級監控、快速吞吐量和改進的操作便利性。應用材料E-MAX CT+具有業界最高的過程重復性和穩定性。其絕佳的精密技術允許用戶在納米深度步驟中測量蝕刻深度，並在高長寬比應用中保持表面精度。該系統還具有創新的多流體噴射器和氣體分配單元，可提供低密度、自由基豐富的等離子體。這為初來者在整個曲面上提供了不同的效果。AMAT/APPLIED MATERIALS EMAX_CT+提供無與倫比的過程環境控制和監控。其主動溫度和壓力控制機具有精確的熱和壓力調節功能，以及一種創新的光學監控工具，在蝕刻和灰化過程中提供來自基板的實時反饋。資產還為過程控制提供了最好的定義和可重復性。EMAX_CT+還擁有一個用戶友好、直觀的圖形用戶界面（GIU）,用於精確的過程監視和控制。只要一觸,用戶就可以調整氣流、運行到運行、蝕刻配置文件中的設置點,並監控各種流程參數。APPLIED MATERIALS EMAX_CT+還提供快速機器人控制的材料處理操作。它獲得專利的機器人控制使載具和固定裝置在裝載、卸載和處理過程中能夠即時、精確地移動。APPLIED MATERIALS eMax CT+提供獨特的壓力管理技術,可優化基板冷卻,同時最大程度地減少對過程的熱影響。通過激活和停用冷卻模型，確保了設備的最佳蝕刻和清潔性能。EMax CT+是一種強大的等離子體蝕刻和灰化解決方案,可提供最大的吞吐量和精確控制。它全面而獨特的特性使其成為各種先進技術操作的理想解決方案。精確監控、快速吞吐量、前所未有的操作便利性相結合，使得E-MAX CT+成為任何蝕刻或清潔應用的完美選擇。