二手 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9390469 待售
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ID: 9390469
晶圓大小: 12"
Oxide etcher, 12"
(3) Chambers (A, B, C)
MF Platform type: AP
FI (EFEM):
SUPERMICRO GEN3 0090-06587 Servers
EATON Powerware 5115 UPS
MKS MACRONODE 0190-22543 (FI Ethernet digital I/O)
AMAT / APPLIED MATERIALS 0190-05111 Keyboard Video Mouse (KVM)
D-LINK 0190-39904 Ethernet switch hub
AMAT / APPLIED MATERIALS 0190-22545 Sealevel
AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-25273 Fast Data Gateways (FTG)
AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-25274 Fast Data Gateways (FTG)
AMAT / APPLIED MATERIALS 0090-06516 Short flex controller assy
SST DNET Scanner B/D Short flex controller assy
MEI XMP B/D
SBS Serial B/D
GE SBC B/D
(2) TAKEX SS20-TR40 Light curtains
(3) TDK TAS300 Load ports
(3) HERMOS TLG-RS232 RFIDs
YASKAWA XU-RCM6841 ATM Robot
YASKAWA XU-ACP4860 Aligner
YASKAWA XU-ACL4230 Track
YASKAWA XU-CN1170A Robot controller
WATLOW 96 Gas panel temperature controller
AMAT / APPLIED MATERIALS Light tower
AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-81205 Intake plenum enclosure
MF Platform:
Type: 5.3 FI
NSK VHP TM Robot
NSK ELA-B014CFL-03 TM Robot controller
ALCATEL A100L I-Pump
MKS 124AA-00010BB TM Baratron gauge
GRANVILLE-PHILLIPS 275 Mini-Convectron TM Vacuum gauge
(2) GRANVILLE-PHILLIPS 275 Mini-Convectron Load lock vacuum gauges
(2) PANASONIC MQDB011AAD03 Load lock indexer controllers
(2) Load lock diffusers
TM Diffuser
(2) Load lock vent valves
MKS 640 Auto Pressure Controller (APC)
Slit valve
Modular DNET IO Controllers (MDI)
Chamber A, B and C:
(3) TENTA Water leak detector B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) AMAT Interlock B/D Chamber Control Modules (CCM)
(6) MKS Quad serial B/D Chamber Control Modules (CCM)
(6) TENTA Digital I/O B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) MKS Analog I/O B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) SBS IP Carrier B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) SST Devicenet scanner B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) TENTA SBC B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) TENTA Power supply B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) Shower heads
(3) Chamber liners
(3) Cathode liners
(3) Slit liner doors
(3) MAG Drivers
(3) ESC High Voltage Modules (HVM)
(3) Throttling gate valves
(3) Embedded endpoints
(3) Ceramic pucks
(6) HE Controllers
(3) Vacuum gauges
(3) Vacuum switches
(3) Pumps
(3) ISO Valves
(3) RF Generators and match box.
AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+是半導體器件制造中用於各種材料的強大而現代的蝕刻器/灰化器。它旨在為晶圓蝕刻和晶圓灰化工藝提供經濟高效、用途廣泛且可靠的處理。該設備包括一個控制單元，其中包含管理加工配方、掃描和晶圓處理所需的所有組件，以及一個帶有封閉真空環境的工藝室。該系統還具有高性能的機械臂，用於將晶片送入和送出高純度的超低溫環境。AMAT EMAX_CT+被用於制造半導體器件的許多工藝步驟，能夠處理各種用於蝕刻和灰化的腔室配置。該裝置能達到較高的蝕刻速率，具有較高的均勻性。此外，該機有一個可調壓力的加工室進行蝕刻，和一個石英工藝管清洗氣體灰化。它還配備了溫度控制器，允許在加工過程中精確統一的溫度控制。APPLICED MATERIALS E-MAX CT+工具能夠處理單個晶片蝕刻和灰化過程,使其能夠在最少維護的情況下同時蝕刻和灰化多個晶片。而且，資產采用氧介電蝕刻工藝，以減少該工藝產生的顆粒數量，最大限度地減少表面損傷。此外，它還配備了保護工藝環境和操作員免受潛在危險化學品或顆粒危害的高級安全特性。AMAT eMax CT+還提供了用於控制、管理和監視模型操作的綜合軟件包。它具有直觀和易於使用的觸摸屏界面,以及用於快速創建配方的集成配方編輯器。軟件包還包括高級診斷程序,使用戶能夠快速排除問題。總之，EMAX_CT+是一種用於制造半導體器件的高可靠性、高效率的蝕刻設備。它能夠在一次運行中處理多個蝕刻和灰化過程,具有卓越的吞吐量和統一性。集成軟件包提供簡單的配方管理和高級診斷,可以快速排除故障。
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