二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler E2 #293589575 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2平臺是先進的蝕刻/灰燼處理設備。它用於具有挑戰性的蝕刻和灰燼應用，由兩個獨立的腔室組成，以提高靈活性。第一室作為蝕刻器，第二室作為灰燼。這些室可以獨立配置和操作，使其適合用於串聯過程。該腔室有一個載荷鎖，用於將晶片進出腔室，使其能夠成批處理。它還有一個集成真空系統，確保一致的，可重復的處理條件。AMAT Enabler E2平臺旨在提供高水平的過程控制,有助於實現可重復的結果。它利用多種工具監控溫度、壓力和射頻功率等工藝條件，以及壓力、溫度和RPM控制等一整套腔室控制系統。這樣可以確保適當的物料去除速率和均勻性。該單元設計用於各種應用，如銅蝕刻、矽蝕刻和晶圓蝕刻。它還能與各種材料配合使用，如矽、​​的、低k的介電材料。平臺為高縱橫比蝕刻、深溝蝕刻、選擇性蝕刻等苛刻應用提供了卓越的蝕刻均勻性。APPLIED MATERIALS Enabler E2平臺易於使用和維護,所有工藝參數都可以從前面板輕松調節,數據也可以自動顯示在高分辨率液晶顯示器上。該機具有多種內置的安全特性和保護，包括熱電偶和溫度傳感器控制、串聯粒子監控、閉環氣體分布等。最後,Enabler E2平臺是一種高級蝕刻/灰分處理工具,旨在提供高水平的過程控制和一致性。它適用於各種材料的蝕刻和灰化,具有多種功能,可確保可靠、一致的結果。