二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler E2 #293819967 待售
網址複製成功!
ID: 293819967
Etcher
Equipment front end module (EFEM)
Vacuum Handling Platform (VHP)
(3) Load ports
(3) GHW50A
(3) B5002
ATM.
AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2是專門為微電子工業量身定制的高級蝕刻器和asher。AMAT Enabler E2的反演平衡工藝室和雙扇區蝕刻幾何形狀提供了業界領先的精度。這允許更高的吞吐量與可調蝕刻均勻性跨材料和掩模集大小,使高保真微電子處理。APPLIED MATERIALS Enabler E2具有強大的垂直蝕刻幾何形狀和帶有可選溫度控制功能的高功率工藝室。這樣可以對包括SiO2和SiNx在內的多種材料進行極其精確的蝕刻。Enabler E2的靈活性可實現加工材料的高保真陣列。它可以用來繪制從超熱晶片到厚絕緣體矽(SOI)基板的各種材料和基板厚度的圖樣。AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2的自動化多區域處理功能允許精確、可重復的一組過程產生一致的結果,同時消除來自其他過程流的潛在汙染。它還具有用於高速蝕刻和沈積的雙源等離子體源,允許在蝕刻和沈積步驟之間進行更有效的切換。AMAT Enabler E2是一個生產微電子的多功能系統,具有降低單個過程所需的多種工具的復雜性的潛力。此外,其用戶友好的控制軟件使其成為一種用途廣泛且可靠的工具,可用於各種過程情況。APPLIED MATERIALS Enabler E2憑借其精準的操控、用戶友好的軟件、多合一的便利,是微電子行業的完美工具。
還沒有評論