二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler E2 #9231969 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2是一款功能齊全的asher/etcher,旨在滿足各種工藝工程需求。E2是按照精確的質量標準制造的高性能、精密的設備,可確保可靠的過程控制和準確的可重復性。它具有高分辨率板載光譜儀，允許實時監測蝕刻過程。E2使用雙頻射頻偏置和中頻（MF）電流的組合,在極寬電阻率範圍內提供均勻蝕刻的結果。蝕刻系統使用切碎的微波能源，通過調制功率進行多深度或3D蝕刻，確保整個溝槽內均勻的蝕刻深度和輪廓。此外,E2還具有可單獨控制的EDGE蝕刻器,具有可編程的可編程幾何形狀,從而提高了配方的靈活性。其他功能包括完全集成的氦氣和氣流控制，以及一個車載集成的等離子體調節模塊，可自動監測等離子體條件，以確保精確的蝕刻結果。為了最大限度地控制過程,E2提供了一種單腔室設計,可消除運行之間的汙染並縮短周期時間。E2的集成安全系統包括集成數字射頻發生器以及安全互鎖單元和隔離接地裝置。E2還配備了可實現最大均勻性的整體冷卻機,包括獨立的工藝控制器、晶圓溫度管理系統和CDA環路,以實現更快的刀具可用性。為了更好的過程控制，E2使用板載光譜儀提供實時等離子體監測。通過將最新的工藝控制功能與精密加工零件相結合,AMAT Enabler E2為尋求可靠、可重復的工具以滿足各種蝕刻需求的工藝工程師提供了一個出色的平臺。除了先進的功能外,APPLICED MATERIALS Enabler E2的使用壽命長、基本周期時間快、擁有成本低,提供了非凡的價值。
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