二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler E2 #9236843 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Enabler E2是為先進的半導體製造業而設計的蝕刻器和asher設備。它是專門為蝕刻和灰化提供最佳的性能成本性能而設計的。AMAT Enabler E2采用超短脈沖激光技術,結合先進的軟件控制,可實現快速、精確和可重復的結果。對於蝕刻操作,APPLIED MATERIALS Enabler E2使用短脈沖激光器去除厚度高達0.7微米且通量高的材料。激光束能夠精確地繪制特征圖樣，而不會造成與其他蝕刻技術相關的表面損壞。據報道該系統提供了出色的工藝均勻性和高一致性，這要歸功於激光光束以大約10 µm的光斑大小傳送到目標。對於灰化操作，Enabler E2利用脈沖激光加氧氣從底物中去除聚合物殘留物。該工藝的高通量是由激光的近光束光斑大小實現的，允許均勻且可重復的結果，厚度可達0.7 µm。其結果是清潔且無碎屑的蝕刻圖案，允許精確的下遊作業。AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2的控制單元也在設計時考慮了易用性。用戶友好界面采用圖形交互式地圖和參數化配方設計，以減少配方開發時間。AMAT Enabler E2設計為易於學習、易於使用和高度可靠的機器,非常適合半導體和AUV生產等研究和生產環境。