二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler E2 #9241234 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2是為半導體、MEMS和光電子制造的先進工藝而設計的功能強大的等離子體蝕刻器/asher設備。它被用於多種過程，包括光刻膠圖樣、發光二極管（LED）蝕刻和灰化、三維（3D）感測、光學表面、選擇性區域沈積、互連過程和介電蝕刻。該系統由多個腔室組成，每個腔室都有自己的工藝配方、氣流管理單元、射頻電源、真空泵。AMAT Enabler E2是AMAT最新的蝕刻和灰化機。它是一種非常可靠的工具,能夠以最小的停機時間產生高質量的結果。它的主要優點是能夠提供復雜過程幾何所需的高吞吐量和精確控制。該資產還提供了出色的蝕刻配置文件一致性,從而實現了一致的高質量產品。APPLIED MATERIALS Enabler E2配備了全新設計的工藝氣體輸送模型。氣體輸送設備的設計提供了高度的靈活性和準確性。它能夠絕對精確地向腔室輸送工藝氣體，確保對正在進行的每一類工作遵循正確的工藝配方。氣體輸送系統能夠同時處理多種氣體，從而允許同時追求多種工藝配方。該裝置的射頻電源經過精心設計，可提供高精度、高重復性強的魯棒性控制。電源允許用戶設置多個流程配方,並確保流程參數完全符合要求。電源還有一個集成的監控機器，允許用戶檢查流程參數並根據需要進行調整。Enabler E2還配備了真空泵。泵可使真空電平快速傾斜到選定的設定點。該工具還具有緊急清理功能，旨在防止蝕刻過程中使用的化學品造成內部汙染。總體而言,AMAT/APPLICED MATERIALS Enabler E2是APPLIED MATERIALS的強大蝕刻和灰化資產,能夠以精確和可重復性處理各種過程。該模型可以高效地提供卓越的結果。