二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler E2 #9262172 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2是一種蝕刻器/asher,旨在提供一致且可重復的蝕刻或灰化過程。它是用於濕法或幹法化學加工的可靠工具,專門為滿足大多數制造需求而設計。由於它能夠處理各種工藝氣體、溫度、壓力和晶圓尺寸,因此它是專業工藝的完美工具。Asher有濕度和溫度控制設備,可以讓用戶精確設定溫度和濕度,為他們的過程創造完美的條件。該室還配備了自動氣體控制系統,能夠精確控制各種工藝氣體和摻雜水平,以確保重復、一致的蝕刻和灰化過程。它還有一個多區溫度控制單元,幫助始終保持晶片周圍的均勻溫度。AMAT Enabler E2還具有全自動氣體分配機,可在所有晶圓上提供高效的氣體分配和均勻的晶圓加熱。它還具有先進的安全工具,旨在防止發生任何危險情況,如過壓、過熱和過溫。腔室裝有先進的掃描電子顯微鏡(SEM)。這樣可以在處理過程中對晶片進行精確和高分辨率的成像,從而降低缺陷密度並提高產量。此外,它還配備了具有直觀用戶界面的高級視圖端口監視和數據監視資產。這樣可以在過程和之後方便地監視晶片,以及優化過程參數。最後,APPLIED MATERIALS Enabler E2 asher配備了OpenFab軟件。這是一個功能強大的軟件程序,專門為優化asher性能和控制整個ashering過程而設計。它允許用戶快速訪問所有流程值,快速設置和維護最佳配方,並輕松監控流程條件和性能。它還允許用戶輕松訪問和歸檔所有晶圓數據和過程條件。總體而言,Enabler E2 asher是一個功能強大的工具,如果使用得當,它可以幫助一致且可重復地實現針對所有類型晶片和需求的蝕刻和灰化過程。它是一種可靠而強大的機器,依靠先進的技術來確保最佳的工藝精度和結果。
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