二手 AMAT / APPLIED MATERIALS G5 MESA EFEM #9311364 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS G5 MESA EFEM是一種先進的蝕刻/灰分技術，用於制造集成電路元件。它配備了AMAT公司最新的模具和自動化技術，允許高精度蝕刻和灰化。AMAT G5 MESA EFEM設備設計用於加工直徑達200 mm、長度達300 mm的晶片。它具有超高吞吐量,直通式速率高達1000 pcs/小時。它還具有獨特的雙腔室技術，在蝕刻和灰化方面提供了更高的控制和精度，從而實現了亞工藝精度。智能控制系統，為不同的晶圓尺寸提供可配置的配方，優化產量和最小化缺陷。此外，APPLIED MATERIALS G5 MESA EFEM系統提供卓越的工藝均勻性和生產率，具有廣泛的濕法化學蝕刻溶液，包括鹽酸、硫酸、磷酸和其他酸。其濕鈍化特性控制氧化，並允許改善微小蝕刻結構或微觀特征的結構/表面質量。其低壓化學氣相沈積（LPCVD）和等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）能力也有助於提高晶片的表面光潔度，使其更耐用。G5 MESA EFEM單元包含精密的自動化解決方案,允許在制造過程中進行精確的過程控制。它包括自動晶片定心和加載、過程監控和配方管理,以使復雜的蝕刻和灰化操作高效。它的安全特點保證人員和設備的安全，其自動氣體感應系統旨在檢測某些有毒氣體的危險水平，如氨和氯化氫。為了確保可靠的工藝質量，AMAT/APPLIED MATERIALS G5 MESA EFEM利用工業級傳感器和光學器件進行精確的晶圓掃描，並進行實時表面監測和報告，以便進行動態工藝控制。它還包括一個用於自動操作的六軸機器人，設計有安全功能，以保護人員免受傷害。此外，AMAT G5 MESA EFEM與其他加工設備集成在先進的過程監控機中，以實現更大的控制和質量。它靈活的集成允許簡化生產並提高整體工具效率。這種先進的蝕刻和灰化資產是當今領先生產線的理想選擇。