二手 AMAT / APPLIED MATERIALS G5 MESA HPK #293616964 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS G5 MESA HPK是一款高性能的蝕刻器/asher，專為先進的半導體加工而設計。它能夠在多晶矽、SiO2、SiN、聚酰亞胺等多種材料中對單層或多層薄膜進行幹燥蝕刻和灰化。該機采用先進的模塊化設計，能夠與各種工藝化學和蝕刻配方兼容。該機的腔室尺寸為205毫米x 215毫米x 305毫米，可處理直徑達200毫米的晶片。AMAT G5 MESA HPK配備了定頻射頻發電機和歧管氣體設備，以實現最佳蝕刻性能。它還具有先進的氣流管理系統，使操作員能夠精確控制氣壓和氣流。此單元無需手動調整,從而減少了操作錯誤。此外，該機器與許多不同的化學物質兼容，使其適合各種應用。APPLICED MATERIALS G5 MESA HPK具有高壓鉬蝕刻室，在整個晶片中提供快速蝕刻速率和均勻蝕刻。它還配備了高容量的泵和控制裝置，可以更好地控制機器內的工藝參數和均勻的蝕刻。這確保了蝕刻和灰化工藝的高質量性能。G5 MESA HPK還配備了先進的診斷和維護工具。這有助於操作員通過收集可以進行分析和應用以改進過程的數據來了解機器的蝕刻性能。它還具有自動診斷工具,可以檢測蝕刻或灰化過程中可能出現的任何硬件或軟件問題。這有助於防止停機和不必要的停機。AMAT/APPLIED MATERIALS G5 MESA HPK是一種高度模塊化、可配置和可升級的蝕刻器/asher,可提供準確、高性能、可靠的蝕刻和研磨工藝。它的高級診斷和維護功能確保蝕刻性能最大化和停機時間最小化。最後，它與不同化學的相容性也使得它適合在多種應用中使用。