二手 AMAT / APPLIED MATERIALS G5 #9270848 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS G5是一種為晶片的精密蝕刻或灰分處理而設計的asher/etcher設備。該系統采用高功率、高頻等離子體蝕刻和灰分工藝，快速準確地蝕刻大批量或小批量晶片。此過程的深度精度為+/-1 um,可達到+/-2 um的表面平面精度。AMAT G5專門設計用於集成電路封裝、晶圓變薄、介電蝕刻、聚酰亞胺蝕刻、顯示器生產等應用。APPLICED MATERIALS G5單元具有計算機控制的單室設計和封閉式氣櫃。這種設計保證了等離子體被精確地包含，並且得到的灰分得到滿足。該機還采用智能操作參數設計，可實現更準確、更可重復的結果。此外，G5還設計了可移動腔室墻，能夠容納300毫米大小的基板。AMAT/APPLIED MATERIALS G5提供濕灰和幹灰處理能力，有助於進一步降低顆粒汙染風險。該工具配備了飛行時間質譜儀，用於對粒子進行連續的過程中監測，並由AMAT先進蝕刻控制軟件提供動力。此軟件包括一個自動調整周期,用於調整流程參數以自動保持盡可能高的性能。該軟件還與APPLIED MATERIALS Production Viewer軟件兼容,該軟件允許用戶從遠程位置監視進程。AMAT G5是一種先進的asher/etcher資產，設計用於晶圓的高精度蝕刻和灰分處理。它的設計確保了對等離子體蝕刻和灰分過程的控制，同時允許可重復的結果。該型號還具有可移動腔壁，並配備了幹濕灰處理能力。最後，它采用飛行時間質譜儀和先進的蝕刻控制軟件，使用戶能夠監測來自偏遠地區的進程。