二手 AMAT / APPLIED MATERIALS G5 #9271269 待售
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AMAT/APPLICED MATERIALS G5是半導體製造過程中使用的一種蝕刻器/asher。它是一種幹蝕刻技術,旨在降低總體擁有成本並實現對設備制造的更大控制。AMAT G5利用水平蝕刻方向在整個晶片上形成均勻的氣流。該設備同時使用真空和高壓等離子體蝕刻暴露的晶圓表面。真空作用是去除蝕刻過程中沈積在晶片上的顆粒和其他汙染物。高壓等離子體用於高精度和高精度蝕刻晶片表面。APPLIED MATERIALS G5還具有可擴展性和可配置性,使其能夠輕松生成各種復雜的模式。它的模塊化設計使得開發新配方、測試原型和提高生產率以及確保可靠的處理結果變得容易。該系統可以支持多個工藝室,能夠處理最大8英寸晶圓尺寸的產品。G5還提供兩種蝕刻模式的選擇;單片和分批晶片模式,最多9個晶片。AMAT/APPLIED MATERIALS G5還配備了先進的控制和安全功能。其工藝室采用基於Web的集成界面,並配有觸摸屏控件,用於自動化流程設置和監控。它內置了法蘭泄漏、工藝室超壓關閉、集成滅火和故障安全冷卻系統等保護功能。該裝置還具有集成的氣體、電力和冷卻輸送系統,以實現可靠和可重復的工藝結果。AMAT G5是一款功能強大、用途廣泛的蝕刻器/asher,適合多種應用。該機提供快速的過程控制和統一的結果,使其成為半導體行業研發的理想工具。此工具能夠提供可靠和可重復的流程結果,同時提供經濟高效的節能解決方案。
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