二手 AMAT / APPLIED MATERIALS G5 #9298595 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS G5是一種先進的蝕刻和灰化工具,專為高速、超精細特征蝕刻和灰化而設計,在處理半導體晶片時可提高晶片產量和節省成本。它具有高速的磁耦合濺射設備,能夠快速蝕刻/灰化電路,以及具有緊密臨界尺寸的高精度陣列處理。AMAT G5可以在濕式和幹式兩種模式下運行，並利用低壓系統進行出色的過程控制。它具有擴展完整性,可提供可靠的可重復設備.可以通過集成的軟件單元對蝕刻和灰化過程進行精確的監控和控制,從而能夠精確控制蝕刻配方和灰化過程。應用材料G5將漿料應用於晶片，並使用高度先進的控制程序，以確保統一和精確的應用。可調蝕刻速率可提供最大程度的蝕刻,而不會導致晶圓形成或接觸晶圓。這允許顯著改善濕蝕刻均勻性和更高的etdoor壁，並減少粒子產生。G5還提供了一種可編程的P-CVD工藝，可以在晶片上應用氮化物、聚矽、氧化物等材料。AMAT/APPLIED MATERIALS G5的P-CVD特性使得晶片上的沈積和雙面沈積都能快速準確。利用其集成的壓力控制機，可以將材料精確地沈積到小而復雜的特征上，而不會對材料進行塗抹或熔化。AMAT G5完全自動化,具有高級HMI接口,可輕松直觀地檢入和檢出晶圓過程,同時監控實時工具參數以及存儲配方。它還為無應力工藝配方設置提供了可自定義的參數。APPLICED MATERIALS G5是一種用於制造半導體器件的堅固可靠的蝕刻和灰化解決方案。G5利用先進但用戶友好的HMI界面,提供了準確的過程控制,並提高了產量,從而提高了性能、節省了成本並提高了可靠性。