二手 AMAT / APPLIED MATERIALS G5 #9314557 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS G5是一種蝕刻器/asher，設計用於等離子體蝕刻工藝的超高真空範圍。該工具使用電離氣體進行蝕刻和灰化應用，並且可以配置為執行幹式和濕式蝕刻過程。AMAT G5所使用的電容耦合射頻（RF）技術，使其可以蝕刻矽、的、石英、金剛石等多種材料。該蝕刻器/灰化器包括一個工藝室、一個真空設備、射頻發生器、電源、氣體入口、排氣系統和一個控制器。該工藝室設計為密密麻麻，在操作過程中使用真空系統維持超高真空水平。並入工具的射頻發生器產生射頻功率，通過使氣體分子電離，作為蝕刻過程的能量來源。此外,設備使用電源來維護和控制RF電源。APPLIED MATERIALS G5可用於多種應用，包括材料去除、表面清潔和等離子體輔助沈積。它能夠蝕刻各種材料，包括半導體、石英和金剛石。該工具支持使用具有較高蝕刻速率的氟基CF4、Ar/CF4、CHF3和Ar/Cl2等化學方法進行蝕刻。此工具的深度蝕刻能力允許功能精度小於10nm。為確保最高質量的蝕刻,G5采用了隔熱和冷卻系統。該工具還設計方便維護，可手動操作或編程自動操作。再者，該單元使用閉環控制機在蝕刻過程中監測壓力和溫度。AMAT/APPLIED MATERIALS G5是一種可靠、用途廣泛的蝕刻和灰化工具，適用於MEMS器件制造、半導體器件制造、微流體、工藝研究等多種工藝。它有多種尺寸可用於滿足不同的應用需求,可作為桌面模型或完整工具使用。此工具具有很高的過程重復性和準確性,是許多高級蝕刻和灰化過程的理想選擇。