二手 AMAT / APPLIED MATERIALS G5 #9399903 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS G5 蝕刻器/Asher是一種多腔室、單晶片蝕刻器/Asher,為蝕刻和研磨工藝提供高級性能。這臺可靠且低維護的機器具有經過驗證的高精度技術,可針對復雜的蝕刻/灰燼工藝步驟和具有挑戰性的材料進行優化。AMAT G5蝕刻器具有獨特的可配置性和高通量，是半導體器件制造的理想工具。APPLICED MATERIALS G5 Etcher/Asher具有多室設計,可有效利用可用空間,並且完全集成且獨立,便於安裝。它能夠提供卓越的工藝均勻性和高吞吐量,每小時最多可提供500個晶圓。G5還使用AMAT Turbo Technology提供高吞吐量和低擁有成本,同時還提供三種氣體和兩種溫度控制器的最大容量。AMAT/APPLIED MATERIALS G5 Etcher/Asher配備了先進的自動化能力，通過智能過程控制產生更高的可靠性和更高的產量。通過使用戶能夠將蝕刻器/asher配置為多種配方選項,它提供了配方的靈活性和成本效益,並且旨在減少空間需求並減少對其他設備的依賴。此外，AMAT G5還采用了一些安全功能，如內置傳感器和自動關閉系統，旨在保護人員和設備。APPLICED MATERIALS G5 Etcher/Asher也經過設計，以最大限度地提高材料的相容性，使其能輕松處理廣泛的底物，包括單晶Si、III-V化合物、晶圓載體和環氧樹脂。無論基材類型如何，它對所有材料都具有優越的蝕刻速率，而且它的單晶片能力可以方便地蝕刻不同厚度和尺寸的基材。G5還利用先進的熱控制,允許最大程度的配方靈活性,同時保持一致的薄膜均勻性和厚度。AMAT/APPLIED MATERIALS G5 蝕刻器/Asher支持多種工藝,包括面膜蝕刻/灰分、濕蝕刻、幹蝕刻和帶狀蝕刻/灰分工藝。這些過程可以配置為允許對蝕刻和灰化操作進行全面的過程控制和靈活性。該機還設有閉環氣體系統，減少浪費試劑的數量，增加加工時間。此外，AMAT G5的設計尺寸緊湊，不需要額外的腔室，其低紙張消耗率有助於降低成本。