二手 AMAT / APPLIED MATERIALS G5 #9400025 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS G5是一種以生產為中心的單室蝕刻器/asher平臺，用於蝕刻和加工各種基材。AMAT G5的設計和制造旨在提供準確、可靠和可重復的性能,使其成為大批量制造過程的寶貴工具。APPLIED MATERIALS G5提供全方位的蝕刻能力，從低溫到高功率蝕刻。可用於蝕刻矽材料如SiO2、Si3N4和SiC、氮化鋁（AlN）以及深井蝕刻。蝕刻工藝可以針對各種應用需求進行優化，包括腔室溫度和壓力控制系統、工藝氣體、射頻功率以及其他各種硬件配置等一系列選項。G5具有獨特的控制和剖析蝕刻室基板溫度的能力。此外，可編程控制器允許通過用戶友好的圖形界面設置最佳溫度、壓力和氣流剖面。該蝕刻器/asher還配備了安全聯鎖系統，以防止操作員受傷和操作危險，在發生危險時能夠關閉泵和電源。AMAT/APPLIED MATERIALS G5還提供直觀的用戶界面,提供特定於流程的監控、自動數據采集和統計流程控制功能。這個直觀的用戶界面允許蝕刻器/asher以最小的操作員幹預以有效的方式操作。它的控制系統是高度可靠和復雜的，使過程控制容易和有效，總是容易的過程優化。AMAT G5室容積為三升，可用於芯片生產，具有多種基材尺寸和蝕刻工藝。它設計為高效、可靠、堅固,非常適合工業生產過程。APPLICED MATERIALS G5是高性能蝕刻和灰化應用大批量生產的選擇。