二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Gas box for Centura DPS II #9407675 待售

用於Centura DPS II的AMAT/APPLICED MATERIALS Gas box是一款設計用於Centura DPS II系統的高性能蝕刻器/asher。它的設計目的是提供可靠、一致的性能與工藝過濾，加熱和加濕氣體輸送設備。這樣可以確保在寬達5英寸的基板上對薄膜材料進行精確、均勻的蝕刻和灰化。氣箱有一個先進的控制面板，可以精確控制理想沈積過程所需的所有參數和條件。氣箱設計用於廣泛的蝕刻和灰化應用，如氧化物蝕刻、聚酰亞胺蝕刻和灰化、質量選擇性蝕刻和2D圖樣灰化。它具有自動定心、可調節高度和懸臂定位的真空壓板，提供卓越的蝕刻和灰度均勻性。氣箱包括一個加熱加濕的級系統，防止在基板或步進對準光學器件上凝結。它還包括一個經過工藝過濾的氣體控制單元，其中包括獨立控制的氣體引擎蓋和一個可以支持多達六種不同氣體的氣體混合器。該機還包括五個隔熱閥組件，有助於減少交叉汙染的影響。此外，它還設有一個無錐形燒杯，用於容納液體蝕刻劑，以及一個氣體排水口，用於安全去除蝕刻劑。AMAT Gas box for Centura DPS II是一種先進的蝕刻和灰化工具,能夠為各種應用提供高質量、精確的結果。它設計易於使用、安全和準確，具有工藝過濾氣體輸送、加熱加濕級工具、隔熱閥組件和液體蝕刻無錐形燒杯等特點。這確保了薄膜材料蝕刻和灰化的可靠和一致的性能。