二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Gas box for Centura DPS II #9407676 待售

ID: 9407676
AMAT Centura DPS II氣箱是Centura DPS II 蝕刻器/asher的關鍵組件。它是一個封閉式氣體箱,設計用來容納並為蝕刻器提供精確的氣體輸入,用於清潔、精確的蝕刻和灰燼處理。APPLIED MATERIALS Centura DPS II Gas Box由不銹鋼製成,創造出耐用可靠的結構。該框具有兩個端口。一個是向腔室供應氣體的進氣口,另一個是有效排出廢氣的出口口。有了這個盒子,Centura DPS II可以一次使用兩到三種不同的蝕刻或灰化氣體,允許用戶自定義自己的流程。該箱還具有氣體開關閥,可準確控制氣體箱與蝕刻室之間的氣體流動。閥門還設計了一個手動氣體沖洗選項,這是重要的保持過程的一致性。為保持盒子的完整性,防止潛在的泄漏,所有通過盒子的線路都裝有O形圈等密封材料。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Gas Box具有背面洗滌器,對蝕刻器的工藝穩定性很有幫助。這種洗滌器負責從機器的廢氣流中除去微量的腐蝕性氣體。洗滌器還有助於保護其他系統部件免受有害腐蝕性氣體的侵蝕。最後,燃氣箱設計有一個直觀的控制面板.此面板允許手動輸入,允許高級用戶通過調整入口壓力、流量和真空壓力來控制蝕刻氣體流量和壓力。這些功能也可以通過面板實現自動化,以實現流程優化。總體而言,AMAT Centura DPS II燃氣箱是一個可靠、用戶友好的燃氣箱。其不銹鋼結構、氣體開關閥、背面洗滌器和直觀的控制面板使其成為一種簡單安全的蝕刻和灰化工藝系統。
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