二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Gas box for Centura DPS II #9407679 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS用於Centura DPS II的燃氣箱是一種可靠、精密的蝕刻和灰塵設備。該系統在半導體工業中用於制造微觀電子器件和元件。通過使用反應性氣體從基板中去除材料，蝕刻和灰化工藝用於將圖樣轉移到基板表面。該裝置設有一個不銹鋼腔室，設計用於150毫米晶片的可靠加工。該室是密封的，具有先進的氣流控制以及用於整個過程控制的綜合安全系統。該設備配備了Centura DPSII工藝控制器,該控制器提供用於精確氣體分配的集成氣體面板和前板控制按鈕,可輕松訪問機器菜單和設置。此工具還提供事件記錄、診斷和故障類型顯示功能。用於Centura DPS II的AMAT Gas box完全集成了先進的PLC控制資產,從而可以直接控制模型的過程和順序。PLC控制設備還提供先進的故障檢測以及安全和環境功能。該系統配備了用於監測和控制腔室壓力的壓力調節器，以及用於按照編程配方精確混合和流動過程氣體的氣體歧管。該單元還具有內置配方管理單元，允許操作員根據需要快速檢索、修改或創建新配方。適用於Centura DPS II的APPLIED MATERIALS氣箱設計用於處理多達三種工藝氣體,提供了一種高度可靠和高效的蝕刻和清潔解決方案。該機器設計為可定制且用戶友好。它可以很容易地集成到各種系統和自動化過程中。其高度先進的功能將確保整個晶圓處理過程的可靠運行。