二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Gas box for Centura DPS II #9407681 待售

AMAT Centura DPS II Gas Box是一款為在高真空環境下運行而設計的蝕刻器/asher。氣箱由不銹鋼制成，旨在對半導體制造過程中使用的蝕刻氣體流動進行精確可靠的控制。通過對反應性氣體流動的精確控制，Centura DPS II允許生產高質量、無缺陷的半導體器件。燃氣箱采用兩個獨立的氣體分配歧管，每個歧管控制一個獨立數量的工藝氣體管線。這些管線可輸送多達9種工藝氣體，包括蝕刻、清潔、退火或沈積氣體。綜合泄漏率檢測設備監測和記錄氣體消耗水平，而先進的控制系統則能夠精確控制每種氣體的比例。該裝置還包括綜合RFID氣體識別和自動核查進入的氣瓶以及綜合加熱器，以確保對加工氣體進行精確的溫度控制。Centura DPS II燃氣箱還提供卓越的安全功能。軟件警報可以定制,以便在檢測到不安全的化學物質水平時提醒操作員,而創新的超低清除能力可減少危險的副產品。該機還具有自動通風的任何過壓管路，確保安全操作。最後，Centura DPS II燃氣箱使操作簡單、人性化。板載控制器與直觀的圖形用戶界面相結合，有助於高效的操作和快速的流程開發。這一控制工具還能夠有效管理流程配方，下載和保存多達2000份配方。總體而言,APPLIED MATERIALS Centura DPS II氣箱是控制蝕刻氣體流動和在高真空環境下生產高質量、無缺陷半導體器件的理想解決方案。