二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Hart #9225943 待售

AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Hart是一款先進的蝕刻器和asher設備，設計用於提供半導體晶圓的精確和可重復蝕刻。該系統能夠同時處理多達四個300 mm晶片,同時具有蝕刻和灰化功能。該裝置配有定制設計的加熱卡盤，可確保沈積在基板上的蝕刻/灰燼的預先確定和均勻厚度。AMAT Hart機采用磁助化學蝕刻（MAC-Etch）工藝，確保晶片的精確、均勻蝕刻。該工藝利用強電磁場的應用，對基板進行控制和可控的蝕刻。使用此過程,APPLIED MATERIALS Hart可以實現分辨率小於1 nm的蝕刻應用。此外，與傳統的蝕刻工藝相比，MAC-Etch工藝產生的多晶粒殘留量非常低。此外，該工具能夠進行玻璃自旋（SOG）沈積，這是一種節省時間的工藝，旨在將含氧或含矽層沈積在基板上。這是一個有利的過程，因為它可以改善對基板的粘附和提高蝕刻均勻性。Hart資產還配備了激光熱處理模型，用於更快地完成蝕刻/灰分工藝，且工藝步驟更少。激光熱處理設備提高了蝕刻和灰化精度，產生了更好的基材精加工，提高了工藝的整體均勻性。該系統還與數據監測單元相結合，該單元允許存儲和監測收集的過程和產品數據。這允許用戶調整過程參數和參數，以提高過程的均勻性和精度。最後,該機器設計為易於使用,具有直觀的用戶界面。這使用戶能夠快速編程過程配方並控制其蝕刻和灰化過程。總體而言，AMAT/APPLICED MATERIALS Hart工具是一種用於精確度和速度蝕刻半導體晶片的強大而可靠的資產。