二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mark II chambers for P5000 #293590702 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS用於P5000蝕刻和灰燼系統的Mark II腔室為制造商提供了高度密封、加壓的工藝環境。Mark II腔室專為生產半導體制造而設計,具有出色的設計特性,方便高效操作、維護和清潔。Mark II室具有多種與工藝相關的特點，為蝕刻和灰燼工藝提供了高效、可重復和準確的控制。Mark II配備了多個分層腔室，定義了工藝環境。前兩層含有射頻屏蔽，在蝕刻和灰分過程中隔離射頻波形和等離子體濃度。第三層是裝有兩個隔熱站的不銹鋼箱。第一站設有燃氣歧管、供氣設備和燃氣線路；第二站裝有流體計量泵和射頻發電機。第四層內部是工藝基座，在加工過程中支撐晶圓和磁感器。第五層是電磁幹擾（EMI）屏蔽，保護外界環境免受汙染，系統免受其他設備幹擾。Mark II蝕刻和灰燼系統還具有一系列可編程功能,這些功能由Process Flow Manager （PFM）軟件實現。PFM是一種全面的編程語言，允許與其他系統輕松集成，以及自定義循環場景和批處理配方。此外,Mark II腔室還包括一系列工具診斷程序,可用於詳細的流程故障排除。Mark II等和灰燼系統還提供出色的安全功能。該單元配備了一個快速作用的互鎖機，旨在對任何突然或意外的壓力變化或等離子體電弧做出反應。發生電弧情況時,聯鎖裝置會自動關閉刀具以防止進一步損壞。總體而言，對於需要快速、高效和可靠的工藝環境的制造商來說，用於P5000蝕刻和灰燼系統的AMAT Mark II腔室是一個極好的選擇。憑借其先進的設計特點和全面的編程語言，該資產可以實現出色的蝕刻和灰燼過程控制，提高生產率水平，提高模型安全性。歸根結底，Mark II室是任何現代制造設備的重要組成部分。